檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "楊宏智".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="電化學輔助固定式磨料研光"
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本研究旨在研發電化學輔助固定式磨料研光製程(Electrochemical Assisted-Fixed Abrasive Lapping, ECA-FA Lapping)並應用於單晶矽晶圓之研光製…